整个CMP过程中，高纯度至关重要。因此，研磨环还必须具有很高的纯度。这意味着材料不应被铝或铜等金属污染，以避免划伤晶圆表面。同时，研磨环的材料应具有低渗气性能。
通常，研磨环采用普通PPS材料。虽然，PPS材料常是一种不错的材料选择，但仍有改进空间。DOQ-PPS CMP是一款经过特别改性的材料，材料性能有所改进，以满足CMP工艺的要求，下文进行了详细说明。
PPS CMP材料的特点是具有较高的耐磨性，是PPS行业标准的两倍以上（见图1）。它具有非常好的热性能和机械性能，例如高拉伸强度和弯曲强度（见图2），因此在清洁晶圆或测试过程中使用非常方便。结合良好的耐化学性和耐溶剂性，以及良好的摩擦性能，提高了塑料组件的使用寿命。
图1
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